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SOLUTION_FDC_개요 2019-05-03T16:24:38+00:00
Smart FDC(Fault Detection and Classification)는 일반적인 FDC의 기능적, 성능적 차별화 및 향상을 위하여 고유의 핵심 Algorithms을 채택한 진보된 FDC 솔루션입니다.
Full Trace 기반 다변량 분석
  • 센서 trace 데이터로부터 특성을 추출(feature extraction)하는 절차로 인한 정보 손실(information loss)를 방지하고자 full trace를 모두 사용하여 다변량 분석(multivariate analysis)수행
One-class 모델
  • 정상 웨이퍼보다 불량 웨이퍼가 극단적으로 적은 클래스 불균형(class imbalance)을 고려하고 정상 웨이퍼의 trace 데이터만 가지고도 학습이 가능한 one-class 모델
  • 불량 웨이퍼는 이상치(outlier)로 간주하여 탐지
Wafer-to-wafer Variation Free
  • 센서 노이즈(noise)와 미세 드리프트(drift)로 인하여 정상 웨이퍼임에도 wafer-to-wafer variation이 발생하는 경우에도 우수한 성능을 일관되게 보장하는 FDC 모델
  • 공정 이상의 주요원인 정보인 공정 파라미터(PROCESS PARAMETER)와 발생시점을 제공하는 fault diagnosis 기능 수행